《微纳电子技术》目前收稿方向有:微电子机械系统(MEMS)、传感器、复合材料、微流控芯片、电化学性能、化学机械抛光(CMP)、气体传感器、CMP、石墨烯、超级电容器、体积分数、水热法、电极材料、压力传感器、去除速率、SiC、微结构、ZnO、抛光液、金刚石、柔性材料、太阳电池、微通道、磁控溅射、微机电系统(MEMS)、纳米材料、电流密度、聚二甲基硅氧烷(PDMS)、气敏性能、比电容、摩擦纳米发电机(TENG)、摩擦纳米发电机、表面粗糙度、体积流量、光电探测器、纳米颗粒、纳米结构、光电转换效率、碳纳米管(CNT)、GaN。